네덜란드 기업 ASML에서 작업을 진행하는 모습 [ASML SNS 캡처]

SK하이닉스와 삼성전자 등 글로벌 반도체 기업들이 한 대당 2000억원 수준의 고가에도 불구하고 구입을 위해 줄을 선다는 극자외선(EUV) 장비가 친환경 경영 관점에서 사용될 수 있다는 분석이 제기됐다. 내부 구성원의 EUV의 활용 접근법에 따라 반도체 기업간 환경·사회·지배구조(ESG)의 수준 역시 상이해 질 수 있다는 지적이다.

오는 31일까지 진행되는 국제반도체장비재료협회(SEMI) 반도체 소재 콘퍼런스 ‘SMC 코리아 2022’의 18일 개막 라이브 세션에서 김재현 SK하이닉스 펠로우는 “같은 EUV 설비에 대해서도 여기에 어떤 소재를 썼느냐에 따라 설비 생산성이 2~3배 가량 높아지는 것을 봤다”며 “생산성이 증가하면 전력 사용이 줄고 반도체 공장(팹)의 공간 사용을 줄일 수 있어 (환경 등)에서 낭비되는 요소를 제거할 수 있다”고 말했다. 이어 “각 제조사들이 수율을 높이고 관련 소재 개발을 해내면 낭비되는 소재를 최소화하고 사회에도 전반적으로 기여할수 있다”며, EUV를 통해 ESG 경영이 가능하다는 점을 강조했다.

EUV 노광장비는 반도체 미세공정에 필수 장비로 꼽힌다. 노광공정은 반도체 웨이퍼에 회로를 새기는 공정을 뜻하는 말로, 웨이퍼 위에 빛으로 패턴을 그려넣는데 공정이 미세할수록 설계 정밀도가 높아진다. 네덜란드의 ASML이 최첨단 수준의 EUV 장비를 글로벌 반도체 기업에 독점적으로 공급하고 있다. EUV 노광장비는 한 대에 2000억원을 호가하는 초고가지만 글로벌 제조사들은 장비 확보를 위해 애쓰고 있다. SK하이닉스와 삼성전자는 물론이고 글로벌 파운드리(반도체 칩 위탁생산) 1위인 대만 TSMC도 장비를 사기 위해 줄을 선 것으로 전해진다. 연간 생산량이 40대 안팎으로 알려지면서, 제한된 대수의 장비를 구입하기 위한 기업간 경쟁이 치열하단 전언이다.

현재 SK하이닉스는 자사 최대 반도체 팹인 이천 M16에 대당 1500억원이 넘는 EUV 노광기를 설치했다. 이를 통해 기존 월 1만장 수준이었던 EUV D램 생산량은 월 6만장 규모로 늘어날 전망이다.

김 펠로우는 이같은 EUV 장비를 환경, 사회, 지배구조 등 3가지 관점에서 바라보고 사용할 수 있다고 강조했다. 그는 “환경적인 관점에서 EUV 기술 활용은, 더 작은 크기의 고성능 반도체를 만드는 것으로 사용 전력량을 줄이고 환경을 보호하는 데 기여할 수 있다”고 분석했다. 이어 “EUV 장비는 거의 스쿨버스 한대 크기”라며 “팹 공간을 줄인다면 팹 건설에 들어가는 비용과 에너지도 줄일 수 있다”고 덧붙였다.

반도체 소재 전문 컨퍼런스 ‘SMC 코리아 2022’에서 발표하는 김재현 SK하이닉스 펠로우 모습.[‘SMC 코리아 2022’ 캡처]

사회적 관점에 대한 분석도 제기했다. 김 펠로우는 “한국이 최종 제조업체 역할을 하더라도 공급 원재료는 해외에서 의존하기도 하며, 이로인해 반도체 공급이 불안정해질 수 있다”며 “기업이 안정적인 반도체 생태계를 만들어 공급망 혹은 원재료 확보망을 잘 구축하는 게 중요하다”고 지적했다.

지배구조의 관점과 관련해서는 “EUV 관련 직원들이 기업의 이해관계자로서 경영을 바라보는 ESG 중심적 사고 경향이 점차 확대되고 있다”고 밝혔다.