테스(095610)는 가스분사장치에 관한 특허권을 취득했다고 1일 공시했다.
회사 측은 “이번 특허는 가스분사플레이트가 상하방향으로 열변형되지 않고, 박막의 증착 균일도가 보장될 수 있고, 가스나 플라즈마에 의하여 부식되는 것을 방지할 수 있다”고 설명했다.
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